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东方钽业:公司参加300mm硅片用(4N5)Ta靶材项目

时间:2020-05-20 14:47    来源:同花顺

同花顺(300033)金融研究中心5月20日讯,有投资者向东方钽业(000962)(000962)提问, 董秘您好,查看公司年报公司产品已通过中芯国际用户认证和使用,并应用于极大规模集成电路制造工艺。公司参与的国家支撑计划项目“钽的增值化利用技术开发”已顺利通过验收,研发出300mm硅片用Ta靶材。请问是否属实?

公司回答表示,2015年半年度报告中“自治区成果转化项目“高性能钽靶材产业化建设”顺利通过验收,研发出300mm硅片用(4N5)Ta靶材,靶材膜厚及均匀性、电阻率、晶粒数、电子迁移和应力迁移的可靠性等均满足芯片配线要求,并通过了相关半导体溅射测试。产品通过了中芯国际等用户认证和使用,成功应用于极大规模集成电路制造工艺。”公司只是参加这个项目的公司之一,提供原料。

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